Выполнение составной части опытно-конструкторской работы «Разработка конструкторской документации и изготовление опытного образца атмосферного модуля для фронтальной загрузки/выгрузки кремниевых пластин из FOUP, SMIF – контейнеров и кассет». Шифр «ЭПОС - ЛОАД»